| 加工定制：是 | 品牌：XITON | 型号：IXION-193 |
| 种类：激光器 | 波长：193.368 nm | 平均功率：10 mW |
| 脉宽：typ.8~12ns | 脉冲能量：1.6 ?J | 重频：1~15 kHz |
| 光束质量：M? <1.6 | 光谱带宽：<80 MHz | 光谱可调谐性：> 10 pm |
| 相干长度：> 2 m | 脉冲稳定性：σ <2.5 % |
该系统的中心波长可定制，范围在185至194 nm之间，并可在订购时配置为固定波长。
另外，系统还可以集成一台光谱精度为0.001 nm的高精度光谱仪。这使得对激光光谱调谐的控制具有的精度。
