加工定制:是 | 品牌:XITON | 型号:IXION-193 |
种类:激光器 | 波长:193.368 nm | 平均功率:10 mW |
脉宽:typ.8~12ns | 脉冲能量:1.6 ?J | 重频:1~15 kHz |
光束质量:M? <1.6 | 光谱带宽:<80 MHz | 光谱可调谐性:> 10 pm |
相干长度:> 2 m | 脉冲稳定性:σ <2.5 % |
该系统的中心波长可定制,范围在185至194 nm之间,并可在订购时配置为固定波长。
另外,系统还可以集成一台光谱精度为0.001 nm的高精度光谱仪。这使得对激光光谱调谐的控制具有的精度。